Rafeindageisla uppgufunaraðferðin er eins konar lofttæmi uppgufunarhúð, sem notar rafeindageisla til að hita uppgufunarefnið beint við lofttæmisaðstæður, gufa upp uppgufunarefnið og flytja það til undirlagsins og þétta á undirlagið til að mynda þunnt filmu.Í rafeindageislahitunarbúnaðinum er hitaða efnið sett í vatnskælda deiglu, sem getur komið í veg fyrir viðbrögð milli uppgufunarefnisins og deiglunnar og haft áhrif á gæði filmunnar.Hægt er að setja margar deiglur í tækið til að ná samtímis eða aðskildum uppgufun og útfellingu ýmissa efna.Með uppgufun rafeindageisla er hægt að gufa upp hvaða efni sem er.
Uppgufun rafgeisla getur gufað upp efni með hábræðslumarki.Í samanburði við almenna uppgufun upphitunar viðnám hefur það meiri hitauppstreymi, hærri geislastraumþéttleika og hraðari uppgufunarhraða.Filmur og filmur úr ýmsum sjónrænum efnum eins og leiðandi gleri.
Einkenni rafeindageislauppgufunar er að hún mun hvorki eða sjaldan hylja tvær hliðar þrívíddar byggingarinnar og sest venjulega aðeins á yfirborði marksins.Þetta er munurinn á rafeindageislauppgufun og sputtering.
Uppgufun rafgeisla er almennt notuð á sviði hálfleiðararannsókna og iðnaðar.Hraða rafeindaorkan er notuð til að slá á efnismarkmiðið, sem veldur því að efnismarkmiðið gufar upp og rís.Að lokum lagðist á skotmarkið.
Pósttími: Des-02-2022