Metal Rotary Target
Rétthyrnt segulsvið og rafsvið er beitt á milli sputtering marksins (bakskautsins) og rafskautsins.Og fylltu nauðsynlega óvirka gasið (venjulega Ar gas) í hálofttæmishólfinu.Undir virkni rafsviðs er Ar gas jónað í jákvæðar jónir og rafeindir.Ákveðin neikvæð háspenna er sett á markið, rafeindirnar sem markið gefur frá sér verða fyrir áhrifum af segulsviðinu, jónunarlíkur vinnugassins aukast, háþéttni plasma myndast nálægt bakskautinu og Ar jónirnar verða fyrir áhrifum af Lorentz-hernum.Flýttu síðan til að fljúga að markyfirborðinu og sprengdu markyfirborðið á miklum hraða, þannig að sputtered atómin á skotmarkinu fylgja meginreglunni um skriðþungabreytingu, fljúga frá markyfirborðinu að undirlaginu og leggja háa hreyfiorkufilmu fyrir.
Til að bæta enn frekar nýtingarhraða markefnisins er snúningsbakskaut með meiri notkunarskilvirkni hannað og pípulaga markefni er notað til að sputtera húðun.Endurbætur á sputtering búnaði krefjast þess að markinu sé breytt úr flatri lögun í pípulaga lögun og nýtingarhlutfall pípulaga snúningsmarkmiðsins getur verið allt að 70%, sem leysir að mestu vandamálið við litla nýtingu flata marksins.
Heiti vöru | Snúningsmarkmið úr málmi |
Efni | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Heitt útsölustærð | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm Einnig er hægt að vinna í samræmi við sérstakar kröfur viðskiptavina |
MOQ | 3 stykki |
Pakki | Lagða tréhylki |
Umsókn
Sputtering húðun er ný tegund af líkamlegri gufuhúðunaraðferð.Í samanburði við uppgufunarhúðunaraðferðina hefur hún augljósa kosti
í mörgum þáttum.Málmsputtering markmið hafa verið notuð á mörgum sviðum.Aðalbeiting snúningsmarkmiðs.
■Sólarsellur
■Byggingargler
■Bílagler
■Hálfleiðari
■Flatskjár o.s.frv
Upplýsingar um pöntun
Fyrirspurnir og pantanir ættu að innihalda eftirfarandi upplýsingar:
☑Markforskrift ID×OD×L (mm).
☑Magn sem krafist er.
☑Vinsamlegast hafðu samband við okkur fyrir frekari sérþarfir.